MLI 準分子激光
MLI系列設備為工業(yè)應用提供直接波長的準分子激光器。當然,如果需要,基本單元可以根據(jù)個人需求進行調整。
MLI-200 / 500 / 1000 準分子激光
MLase 的現(xiàn)代緊湊型準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,脈沖能量高達 16 mJ,重復頻率高達 1,000 Hz
市場上具有最高使用壽命和可靠性以及低擁有成本的獨立設備。由于光束輪廓均勻,能量穩(wěn)定,適用于要求苛刻的應用。
帶有附加LC的準分子激光器還可以進行主動水冷(通過生活用水或外部熱交換器;無去離子水),以實現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運行。
波長(納米)
193193193248248248
重復頻率(赫茲)
20050010002005001000
穩(wěn)定的
脈沖能量 (mJ)
666101010
穩(wěn)定平均功率 (W)
1,23,06,02,05,010
脈沖穩(wěn)定性(西格瑪 %)
222222
光束尺寸(FWHM,VxHmm)
6×36×36×36×36×36×3
光束發(fā)散(FWHM,VxHmm)2×12×12×12×12×12×1
脈沖長度
5-105-105-105-155-155-15
MLI-500 / 1000 準分子激光 LC
波長(納米)
193193248248
重復頻率(赫茲)
50010005001000
穩(wěn)定的脈沖能量 (mJ)661010
穩(wěn)定平均功率 (W)
3,06,05,010
脈沖穩(wěn)定性(西格瑪 %)
2222
光束尺寸(FWHM,VxHmm)
6×36×36×36×3
光束發(fā)散(FWHM,VxHmm)
2×12×12×12×1
脈沖長度
5-105-105-155-15